薄膜真空计与电阻计热偶计有什么不同

薄膜真空计与电阻计热偶计有什么不同

薄膜真空计是迄今为止***得到公认的可作为低真空测量（0.01--100Pa）工作副标准的一种真空仪器，
也是我国***具有法定计量校准检定规程的一种真空度计量器具（校准参照规程：Q/WHJ46-1998标准型电容薄膜真空计校准规程）

电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即：薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。

而我们常用的真空计往往是电阻计、热偶计等等间接测量的热传导型的真空测量方法，简单一点来说，就是通过测量感受气体温度的方法来间接测量气体压强（真空度），是一种类似于大家很熟悉热电阻、热电偶的测量方法。由于测量原理上的先天不足，这类真空计的测量精度、测量稳定度是很不好的。其测量误差一般比薄膜真空计大1~2个以上数量级（误差大于30%，行业标准是&plu***n;50%？），尤其是在低真空段，误差更大。使用过电阻计、热偶计的度知道，测量前还需要零点、满度校正一下，不然误差还会更大。另外，不同成分的气体其热传导系数是不一样的，这种工况时，电阻计、热偶计测量值会增加变化&plu***n;20-50%。

所以，要使用热偶计、电阻计准确测量真空度是很难的;

不过，它确实也有它的优点的：制造容易、价格低廉，还普遍使用着。用过的都领教过它的烦心。许多人抱怨花了3、4千元买到进口的真空传感器也误差大、毛病多?就是因为老外的这个价位的产品还是老的热传导测量机理的真空传感器。所以它比国产的电阻真空计、皮拉尼计也好不到哪里去的；因此，选择真空计、真空传感器、首先要看测量技术的***性，而不是只看是不是进口的、数字、智能，等等；测量机理陈旧，再怎么数字、怎么智能，也于事无补的。

现代真空应用技术的发展，涉及的应用范围越来越广泛、真空应用设备对仪器仪表的要求越来越高，特别是对测量精度、稳定性要求、以及自动控制性能要求也越来越高，这直接关系到真空设备的整体性能质量，关系到真空应用技术或应用工艺的应用效果，甚至于成功与否。在精细化工、真空冶炼、真空单晶炉、真空热处理、真空浸渍、真空冷冻干燥、真空绝缘处理、电真空器件、半导体材料生产、高特新材料、新能源设备等等行业中尤其特出。
许多真空科学工程研究、技术新设备、新工艺、新产品的开发之所以老是无法实现预想的技术指标和效果，往往就是因为真空测控仪表选型不当、其实际的测量控制精度没有达到、或与设计要求相差太大所造成的。当你的科研项目进展受阻、又苦于找不出其他原因时，不妨更换一台精度更高的测量仪器，准确测一测设备的真空度到底是多少？也许就会恍然大悟。你的研究也就轻松搞定了。
当然，薄膜真空计也不是没有缺点的，首先是价格高；进口则1.6—2.5万元/只；其次，国内老式的薄膜规容易零漂，需要经常校正，要求高的经常校正。主要是技术陈旧，国内材料科学相对落后造成的，温度稳定性不好；还有一个量程跨度小，国内的不超过3个数量级。第三是国产规娇气，容易坏，有油污进去很难清洗，要用***，清洗挽救1\3往往会报废，小量程的2\3会坏。

国外的薄膜真空计经过近十年的发展，已经很成熟、其核心技术一是陶瓷薄膜真空压力测量技术、二是半导体厚膜电路和智能仪表技术。首先是通过大规模厚膜电路（国内有些厂家还是20年前的007运放），将薄膜电容测量机构和传感器调理电路微型化，做在陶瓷基片上，另外，将智能仪表电路微型化，一次仪表和二次仪表合二为一，所以量程宽、精度高、体积小；（其典型代表如MKS-626\627、英福康TCBG等等）。

但是，根据我国国内大多数真空应用设备、真空实验室设备的情况和使用习惯，我们的新型薄膜真空计采用了两种方案和基本结构：

1.薄膜真空规+高精度智能二次仪表型（可带有开关量、模拟量、输出接口或数据通讯接口）

2.真空压力变送器（标准信号号输出）型。

           采用这样的方案，其一是，符合国内现场仪器仪表习惯配置、

                                          其二是，有利于提供测量的精度、分辨率、稳定性和可靠性，增加智能化测控功能；

                    （可以配接任何一种模拟量、数字量的接口，比进口的薄膜真空计更灵活、更方便）

          实践证明，具有现代智能仪表技术的新型陶瓷薄膜真空计使用到（环保能源生物医药常用设备的）真空滤清、真空精馏真空冷冻干燥机、真空单晶炉、气氛真空炉、、真空镀膜机等设备，做真空测量和自动控制带来极大地方便和性能提高，可以快速升级为智能型的真空应用设备。当然，也可以用到科研实验室、计量室作为相应的真空段的0.1级标准器，陶瓷芯片的优异性能使其年稳定度达到0.1%以上；

（笔者80年代初期起即从事生产各类型真空测控仪器仪表，用于真空电炉、真空罗茨泵机组自动控制的ZKJ-100、90b型真空继电器用户遍布***各地，沿用至今，30年来，不断地开发新产品，紧跟***水平，在多年提供配套服务过程中，积累了许多技术方案、成熟经验，可提供大家参考。欢迎交流，***:1594484895）

如果您在设备上已经使用了进口的***薄膜计，
不妨也用一用、试一试VR-208C-510系列薄膜真空计，（它的优越性能可能会使你觉得买老外的有点冤。。。）；

如果您一直在使用电阻计、热偶计、甚至古老的麦氏真空计，
那么，相信我们的VR-208C-510系列新型薄膜真空计一定会给您的工作带来改观和惊喜   ！